現(xiàn)代三坐標(biāo)測量機(jī)都配備有計(jì)算機(jī)，由計(jì)算機(jī)來采集數(shù)據(jù)，通過運(yùn)算輸出所需的測量結(jié)果。其軟件系統(tǒng)功能的強(qiáng)弱直接影響到測量機(jī)的功能。因此各坐標(biāo)測量機(jī)生產(chǎn)廠家都非常重視軟件系統(tǒng)的研究與開發(fā)，在這方面投入的人力和財(cái)力的比例在不斷增加。下面對在三坐標(biāo)測量機(jī)中使用的軟件作簡要介紹。
一、編程軟件
為了使三坐標(biāo)測量機(jī)能實(shí)現(xiàn)自動測量，需要事前編制好相應(yīng)的測量程序。而這些測量程序的編制有以下幾種方式。
（一）圖示及窗口編程方式
圖示及窗口編程是最簡單的方式，它是通過圖形菜單選擇被測元素，建立坐標(biāo)系，并通過“窗口”提示選擇操作過程及輸入?yún)?shù)，編制測量程序。該方式僅適用于比較簡單的單項(xiàng)幾何元素測量的程序編制。
（二）自學(xué)習(xí)編程方式
這種編程方式是在CNC測量機(jī)上，由操作者引導(dǎo)測量過程，并鍵入相應(yīng)指令，直到完成測量，而由計(jì)算機(jī)自動記錄下操作者手動操作的過程及相關(guān)信息，并自動生成相應(yīng)的測量程序，若要重復(fù)測量同種零件，只需調(diào)用該測量程序，便可自動完成以前記錄的全部測量過程。該方式適合于批量檢測，也屬于比較簡單的編程方式。
（三）脫機(jī)編程
這種方式是采用三坐標(biāo)測量機(jī)生產(chǎn)廠家提供的專用測量機(jī)語言在其它通用計(jì)算機(jī)上預(yù)先編制好測量程序，它與坐標(biāo)測量機(jī)的開啟無關(guān)。編制好程序后再到測量機(jī)上試運(yùn)行，若發(fā)現(xiàn)錯誤則進(jìn)行修改。其優(yōu)點(diǎn)是能解決很復(fù)雜的測量工作，缺點(diǎn)是容易出錯。
（四）自動編程
在計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)中，通常由CAD/CAM系統(tǒng)自動生成測量程序。三坐標(biāo)測量機(jī)一方面讀取由CAD系統(tǒng)生成的設(shè)計(jì)圖紙數(shù)據(jù)文件，自動構(gòu)造虛擬工件，另一方面接受由CAM加工出的實(shí)際工件，并根據(jù)虛擬工件自動生成測量路徑，實(shí)現(xiàn)無人自動測量。這一過程中的測量程序是完全由系統(tǒng)自動生成的。
二、測量軟件包
測量軟件包可含有許多種類的數(shù)據(jù)處理程序，以滿足各種工程需要。一般將三坐標(biāo)測量機(jī)的測量軟件包分為通用測量軟件包和專用測量軟件包。通用測量軟件包主要是指針對點(diǎn)、線、面、圓、圓柱、圓錐、球等基本幾何元素及其形位誤差、相互關(guān)系進(jìn)行測量的軟件包。通常各三坐標(biāo)測量機(jī)都配置有這類軟件包。專用測量軟件包是指坐標(biāo)測量機(jī)生產(chǎn)廠家為了提高對一些特定測量對象進(jìn)行測量的測量效率和測量精度而開發(fā)的各類測量軟件包。如有不少三坐標(biāo)測量機(jī)配備有針對齒輪、凸輪與凸輪軸、螺紋、曲線、曲面等常見零件和表面測量的專用測量軟件包。在有的測量機(jī)中，還配備有測量汽車車身、發(fā)動機(jī)葉片等零件的專用測量軟件包。
三、系統(tǒng)調(diào)試軟件
用于調(diào)試測量機(jī)及其控制系統(tǒng)，一般具有以下軟件。
（1）自檢及故障分析軟件包：用于檢查系統(tǒng)故障并自動顯示故障類別；
（2）誤差補(bǔ)償軟件包：用于對三坐標(biāo)測量機(jī)的幾何誤差進(jìn)行檢測，在三坐標(biāo)測量機(jī)工作時(shí)，按檢測結(jié)果對測量機(jī)誤差進(jìn)行修正；
（3）系統(tǒng)參數(shù)識別及控制參數(shù)優(yōu)化軟件包：用于CMM控制系統(tǒng)的總調(diào)試，并生成具有優(yōu)化參數(shù)的用戶運(yùn)行文件；
（4）精度測試及驗(yàn)收測量軟件包：用于按驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)測量檢具。
四、系統(tǒng)工作軟件
測量軟件系統(tǒng)必須配置一些屬于協(xié)調(diào)和輔助性質(zhì)的工作軟件，其中有些是必備的，有些用于擴(kuò)充功能。
（1）測頭管理軟件：用于測頭校準(zhǔn)、測頭旋轉(zhuǎn)控制等；
（2）數(shù)控運(yùn)行軟件：用于測頭運(yùn)動控制；
（3）系統(tǒng)監(jiān)控軟件：用于對系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)控（如監(jiān)控電源、氣源等）；
（4）編譯系統(tǒng)軟件：用此程序編譯，生成運(yùn)行目標(biāo)碼；
（5）DMIS接口軟件：用于翻譯DMIS格式文件；
（6）數(shù)據(jù)文件管理軟件：用于各類文件管理；
（7）聯(lián)網(wǎng)通訊軟件：用于與其他計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)雙向或單向通訊。
